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第129章 DUV光刻機

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在王昊天的眼前,有一個白色的大殼子,上邊打著智慧殿堂的標誌,現在智慧殿堂的logo已經確認了,就是一個仿古的有菱角的殿堂!

這就是小芳製作出來的光刻機。

看見王昊天專注的眼神,小芳略微有些得意:“我已經按照你的吩咐儘可能地降低配置了。”

說到這裡小芳情不自禁地瞥了一下嘴巴:“你們星球上的科技真的是低!”

“首先是鐳射發射器,因為是製作45奈米的光刻機,不能用可見光,也不能用紫外光,我們採用的是深紫外光,也就是所謂的DUV!”

“準確的說是ArF準分子鐳射,這種光的波長雖然是193奈米,但是可以等效為134奈米。”

“就算是DUV光刻機,也是可以分為兩種的,一種是幹分式的,另一種就是液浸式的,我們這一臺選擇的是浸透式的,浸透式的光刻機在理論上在製造晶片的時候經過多重曝光之後工藝可以達到驚人的7奈米!”

“但是幾乎沒有人才有DUV光刻機生產7奈米的晶片,因為每多增加一次曝光,那麼生產晶片的難度增加,良品率也不能有效的保證,種種因素結合在一起,就導致了成本大大增加!”

根本就不划算!

商人以追逐利益為目標,這和本心背道而馳!

自然不會有人採用!

除非出發點不是為了賺取利潤!

“所以根據我們的實際情況,只要製造的晶片在於10奈米以下,那麼我們就必須要考慮極紫外光了,也就是所謂的EUV光刻機。”

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