一位光學方面的專家發言道：“光源波長越短，傳播過程中越容易被透鏡吸收。下一代0.5微米光刻機，如果依舊使用高壓汞燈當光源，使用現在的透鏡組合就足夠了，頂多加工精度再提高一些。如果使用準分子鐳射做光源，透鏡系統就需要推倒重做，組合裡至少增加兩枚玻璃透鏡，引數也要重新設計，還有鍍膜材質也要重新開發。這方面研究需要儘快提上日程，如果開發新透鏡組合，需要的計算量非常的大，使用普通計算機計算，需要的時間會非常長，我建議咱們使用ARM1晶片，組裝一臺超級計算機出來。”

一位深圳大學教計算機的教授，推了推眼鏡出聲道：“超級計算機確實是個好東西，咱們很多研發中的專案涉及到大量資料計算和模擬測試，如果咱們實驗室有一臺超級計算機，可以把研發速度提高很多。北極星晶圓工廠出產的ARM1晶片，是世界上第一款精簡指令集晶片，以10萬電晶體數量，提供了遠超80286晶片的效能，在功耗上，也只有後者的三分之一左右，是製作超級計算機的最優晶片。只是超算並不是單純的堆疊晶片，還涉及到平行計算、指令分發、資料互動、大量資料儲存、高效率散熱等等技術，咱們這邊根本沒有相關人才，想要自己研發超級計算機難上加難。”

接下來，光刻機研發小組的成員，各抒己見，給下一代0.5微米光刻機的研發，提供了很多的好思路。

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