梁安平親自動手,使用專用夾具,將光刻完的幾十片矽晶圓裝進專用容器,拿去晶片生產線那邊,去進行後續的刻蝕、離子注入、薄膜沉積、化學機械研磨等步驟。
兩個多小時之後,所有工序走完,幾十片矽晶圓,變成了一千多枚封裝完成的ARM1晶片。吳志航、吳光輝、梁安平等高管和研發人員,開始動手對這批晶片進行全面測試。半小時後,所有晶片測試完成,梁安平對測試結果進行了彙總,最後宣佈道:“此次一微米光刻機測試,共選用了35片矽晶圓,加工過後,切割封裝成1750枚晶片。經全面測試,合格產品共1203枚,合格率為68.7%。也就是說,咱們光刻機研發實驗室生產的第一臺一微米光刻機,第一次開機測試生產,就成功了,且合格率已經達到了晶圓工廠內現有幾臺佳能和尼康光刻機的加工水平。”
聽完梁安平的發言,吳志航帶頭鼓掌,其他北極星高管和研發人員,以及其他負責封裝測試的員工緊隨其後,現場爆發出一陣熱烈的掌聲。
(以下重複,兩小時後重新整理)
第二天,吳志航驅車返回了深圳電子產業園,連別墅也沒回,第一時間就來到了晶圓工廠。光刻機需要工作在超高無塵環境下,剛剛組裝完成的測試樣機正在無塵車間內安裝除錯。吳志航換了一身白色防塵服,戴上防塵帽,透過風淋間進入無塵車間。
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