過了兩個半小時，雙方的法務工作人員稽核完畢，最終的合同終於簽訂完畢，雄芯電子獲得了ASML供應的45奈米級光刻機裝置，同時也是內地首次引進45奈米工藝的光刻機裝置。

這對於雄芯電子來說，一下子就可以躍居內地半導體制造廠商之首，晶片製造工藝水平超越了華芯國際可以宣佈進入倒計時狀態了。

根絕協議約定，ASML公司將會在今年第二季度到來之前完成交付任務，為此，雄芯電子要為這臺光刻機裝置支付高達11.7億元人民幣，超過1億歐元的天價。

雖然很昂貴但物超所值，更重要的是先進的高階光刻機裝置，對於華國人來說是有錢也未必能夠買到。

這次雄芯電子能夠順利的拿下，少不了FinFET帶來的強大議價能力，是專利互換為條件並且支付高額費用的結果。

這是沒辦法的事情，未來還得有一段時間承受關鍵技術或高階裝置被西方卡脖子的情況，不過就目前來說已經是非常大的勝利了。

路要一步一步的開拓。

晶圓代工最關鍵的光刻機裝置已經到位，其它蝕刻機之類的都不是大問題了。

ASML的人一走，羅晟笑呵呵的自言自語道：“這群老外，他們並不知道系統工程和軟體才是我最在行的東西。”

羅晟願意接受三年限制是因為他要跳過現有的技術，直接展開EUV光刻技術的研發，也就是極紫外光科技術，這一技術ASML也還在論證階段，羅晟記得ASML公司要到2012年左右才宣佈收購美國Cymer公司，加快EUV的研發進度。

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