兩百萬比井熙預想的少些，但是她也知道學校的難處，這已經是院長能力範圍內最大的幫助了。

關鍵，還是要見到成果。

錢教授很快就幫她聯絡到了學校裡一間專門做液壓和控制系統的實驗室合作，那邊對光刻機這種大專案也很感興趣，合作的意願十分積極。

然後，就是開始拼湊原型機。

當前國際上的主流晶片尺寸是4英寸，蝕刻精度兩百奈米以上。

井熙瞄準的是還沒有問世的6英寸光刻機，納米制程控制在200以內——更大的尺寸，更小的納米制程，只有這樣的成果，才能在經費大戰中搶到足夠的份額。

目前實驗室各個技術的儲備都有了，但是想要把它們拼湊起來，依然不是一件容易的事情。

即便是一臺普通的紫外光刻機，需要的零件也差不多上萬，有十來個重要的部件，比如測量臺曝光臺，發出光源的鐳射器，光束矯正器和能量控制器，還有掩膜版，掩膜臺，物鏡等等，每一個部件都需要配合得恰到好處，才能做出一臺合格的光刻機。

為了解決掩膜版，也就是一塊在內部刻著線路設計圖的玻璃板，井熙在國內問了一圈，但是都沒辦法定做，最後還是花了幾十萬美元，從國外專門定製了一塊。

光是這塊掩膜版，就把井熙辛辛苦苦從院長那裡要來的經費給花得一乾二淨，更不用提其他更復雜的結構和部件。

還好合作的液壓傳動實驗室幫了不少忙，解決了絕大多數機械方面的困難，幫井熙節省了不少時間和經費。

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