公司現在研發的半導體裝置,就是第三代光刻機。
在這裡,有必要介紹一下光刻機的發展歷程。
首先是光刻機的代際劃分,其實是按光源算的,波長越短越先進。第一二光刻機分別是接觸、接近式光刻機,光源是不同型別的汞燈,但一個產品不良率高,一個要用到介質容易影響成像,都不太理想。
直到第三代,光源改成了氟化氪準分子鐳射,工作方式變成了掃描投影光刻,從名字也能看出差別。一旦完成研發,製程最低將縮小到一百八十奈米水平。
而第四代光源則是氟化氬準分子鐳射,工作方式是步進掃描投影光刻跟浸沒式步進掃描,前者製程最低達到65奈米,後者達到22奈米。
而第五代,就是後來熟知的極紫外光刻機,也就是三十年後卡脖子的那款。
目前,尼康、佳能以及ASML已經推出了第三代光刻機,第四代研發中。
而徐檸他們的第三代光刻機,進展比原本計劃的更快,預計明年春天就能完成研發,第四代則在預研中。
話說,到了第三代其實就是分水嶺了,因為是全新技術,難度直線上升,能完成研發的全世界一隻手都能數過來,現在又多了徐檸這邊。
從這名單也能看出來,玩家正在急劇減少,沒辦法,光刻機這東西,風險大,而且極其燒錢,重點是,在不壟斷的前提下賺的其實並不是很多。
風險大,是技術路線選擇的問題,這東西可不是一條線往前走就可以了,而是有很多岔路,誰也不知道哪個能成。像第四代光刻機中的浸沒式,尼康跟佳能就是錯過了這個技術方向,結果花巨資研發出產品後跟ASML的浸沒式一對比才發現,完了!差的太多了。
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